檢漏與現代工業生產、維修、科研等領域密不可分，傳統的檢漏有泡泡檢漏、壓差檢漏等，但這些方法有許多局限性和不足，如精度差、效率低等。氦檢作為精度*高的測漏方法，已廣泛應用于真空領域。氦質譜檢漏儀是對真空設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得較普遍的檢漏儀器。
氦質譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質譜分析室。質譜分析室的工作原理是對離子源氣體進行電離，電離出來的正離子經過電場加速聚焦通過縫隙進入均勻磁場，離子束在磁場力的作用下，旋轉180o或90o按一定軌跡到達收集極，此種形式稱之為磁性偏轉分析形式。然后，經小電流放大器、微處理器，控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數的大小。
氦質譜檢漏方法在真空檢漏技術領域里已經得到廣泛的應用,這種方法的優點是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10-11Pam3/s 數量級,儀器響應快,氦分子在儀器高真空的環境中擴散的速度很高;所以氦質譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,例如,在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。
更新時間：2022-07-08
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